性能指標和基本配置

爐體結(jié)構(gòu)

● 采用雙層殼體風冷系統(tǒng)，工作時使得殼體表面溫度<60°C。
● 采用高純度氧化鋁作為爐膛材料，保溫性能極佳，最大限度減少熱量損失。
● 通過觸摸屏控制工作溫度，真空度，水冷機組
● 在爐子底部安裝有水冷和高真空機組
● 采用鉸鏈水冷法蘭，操作方便簡潔

石英管尺寸

● 采用高純度石英管
● 尺寸: 216 O.D x 206 I.D x 1300mm L ?(8.5" O.D?x 8.1" I.D x 51" L)
● 提示：石英管是損耗品，請點擊左下方的圖片查看相關(guān)細節(jié)
● 警告：石英管是易碎品，請妥善保管。人為損壞不在保修范圍內(nèi)。
● 標配兩塊氧化鋁纖維管堵，用于阻擋管內(nèi)的熱輻射（加熱爐在工作時必須放入管堵）
● 可選石英管堵，提高潔凈度及真空度 

加熱區(qū)

● 總加熱區(qū)長度： 900 mm (36")
● 三個區(qū): 300 mm + 300 mm + 300mm (12"每個加熱區(qū))
● 恒溫區(qū)長度: 750 mm (三個溫區(qū)可設(shè)置相同的溫度，誤差為+/- 2°C) 注：由于測量手段及外部環(huán)境的影響，測量結(jié)果可能會有偏差，此參數(shù)僅供參考不作為該設(shè)備的技術(shù)指標。您購買產(chǎn)品需要準確的恒溫區(qū)數(shù)據(jù)，請與我公司銷售人員聯(lián)系

工作溫度

● 最高工作溫度 1150°C
● 連續(xù)工作: 200~1100°C
● 最大加熱/冷卻速率: 10°C/min

溫度控制

● 配備一塊觸摸屏控制溫度
● 三個加熱區(qū)可分別設(shè)置30段升降溫程序
● 控溫精度+/- 1°C
● 每個溫區(qū)都配備一個K型omega原裝熱電偶

真空泵系統(tǒng)

● 在爐子下方配備了一個數(shù)子分子泵系統(tǒng)
● 最高真空度可達10-5 torr
● 真空泵由觸摸屏控制

真空系統(tǒng)及法蘭

● 配備一對水冷密封法蘭（鉸鏈法蘭）
● 左法蘭配備：真空計和觸摸屏控制的電磁閥（用于控制爐內(nèi)氣氛環(huán)境）
● 右法蘭配備：KF40真空接口，用于連接真空泵接口上的電磁閥
● 法蘭外端配備一個外徑1/4"的熱電偶插口，用于方便進行溫度校準
● 爐子底部配備有一個16L/min水冷機，用于水冷法蘭的供水

可選

● 可以另配混氣系統(tǒng)用于CVD實驗

額定電壓

● 單相, 220V AC, 50/60 Hz
● 包括AWG 8#電源線

最大功率

12KW (需50A的空氣開關(guān) )

產(chǎn)品尺寸

● L 1700×W 750 × H1800mm

凈重

250Kg

質(zhì)保期

一年質(zhì)保期，終身維護（爐管，密封圈，加熱元件易耗件除外）

使用注意事項

● 爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa
● 由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全
● 當爐體溫度高于1000℃時，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當，保持在常壓狀態(tài)
● 進入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊
● 石英管的長時間使用溫度＜1100℃
● 對于樣品加熱的實驗，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐 管破裂，法蘭飛出等）