性能指標(biāo)和基本配置

名稱

1200℃迷你三溫區(qū)管式爐

爐體結(jié)構(gòu)

● 采用雙層殼體結(jié)構(gòu)，并帶有風(fēng)冷系統(tǒng)，使表面溫度低于70℃
● 高純氧化鋁纖維作為爐膛材料（表面涂有高溫氧化鋁涂層，可提高加熱效率延長(zhǎng)爐膛使用壽命）
● 可選購(gòu)石英管堵及石英坩堝，可增加爐管內(nèi)潔凈度及真空度
● 設(shè)有開(kāi)門斷電功能,提高實(shí)驗(yàn)安全性

基本參數(shù)

● 熱偶：K型熱偶 
● 建議升溫速率：≤10℃/min
● 溫度：1100℃ （1200℃＜1h）
● 電源：AC220，50Hz
● 最大功率:5KW

高純石英管尺寸

● 以下高純石英管尺寸可選：
Φ25 Φ50 Φ60 Φ80 Φ100 Φ130

加熱區(qū)

加熱區(qū)長(zhǎng)度：600mm (三溫區(qū)：150mm+300mm+150mm)

加熱元件

摻鉬鐵鉻鋁(表面涂有氧化鋯涂層，可以極大程度延長(zhǎng)使用壽命）

密封法蘭

● 一對(duì)SS 304真空法蘭與雙高溫硅O形環(huán)包括在內(nèi)
● 兩個(gè)針閥已分別安裝在兩個(gè)法蘭上
● 一個(gè)真空壓力表安裝在一側(cè)法蘭
● 可選：您可以選購(gòu)kf25真空口法蘭
● 可選：您可以訂購(gòu)法蘭支架
● 可選：鉸鏈法蘭

溫控系統(tǒng)

● 包含一款YD518P型溫度控制器
● PID自動(dòng)控溫系統(tǒng)
● 智能化30段可編程控制
● 控溫精度：±1℃
● 三個(gè)溫區(qū)分別有三個(gè)獨(dú)立的溫控系統(tǒng)控制
● 默認(rèn)DB9 PC通信連接端口
● 可選購(gòu)電腦溫度控制軟件(用于YD518P系列控制器)用于控制升溫曲線和導(dǎo)出數(shù)據(jù)

溫度校準(zhǔn)（可選）

● 定期對(duì)管式爐進(jìn)行溫度校準(zhǔn)，可保持溫度的準(zhǔn)確性和均勻性。您可以在我公司選購(gòu)一個(gè)簡(jiǎn)單的校準(zhǔn)工具包，輔助您完成這項(xiàng)工作，完整的校準(zhǔn)套件包括
● 48”L（1/4”O(jiān)D）K型熱電偶校準(zhǔn)
● 一Omega溫度校準(zhǔn)器
● 熱電偶補(bǔ)償線
● 你可以考慮分子泵，真空度可達(dá)10-5Torr

外形尺寸

1050 L x 440W x 700 H mm

凈重

約70Kg

質(zhì)保期

● 一年保修，終身技術(shù)支持。
● 特別提示：1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內(nèi)。
2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。

真空&法蘭

● 通過(guò)機(jī)械泵可達(dá)到50mTorr
● 通過(guò)分子泵泵可達(dá)到10E-5 Torr
● 可選購(gòu)一個(gè)冷真空阱，以避免真空泵造成污染

可選部分

● 為了方便搭建完整的CVD系統(tǒng)，您可以在我公司選購(gòu)混氣系統(tǒng)、液相氣體發(fā)生氣和石英支架         

使用注意事項(xiàng)

● 爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa
● 由于氣瓶?jī)?nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時(shí)，氣瓶上必須安裝減壓閥，為了確保安全，建議使用壓力低于0.02MPa，建議在本公司選購(gòu)減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時(shí)會(huì)更加精確安全
● 當(dāng)爐體溫度高于1000℃時(shí)，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng)
● 進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對(duì)加熱石英管的沖擊
● 石英管的長(zhǎng)時(shí)間使用溫度＜1100℃
● 對(duì)于樣品加熱的實(shí)驗(yàn)，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對(duì)樣品加熱，則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開(kāi)泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐 管破裂，法蘭飛出等）

免責(zé)聲明

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