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  • 1400℃雙溫區(qū)管式爐

1400℃雙溫區(qū)管式爐

產(chǎn)品型號:GSL-1400X-Ⅱ-60-100 

安裝尺寸:1350 L x 470 W x 750 H mm 

重量:約150Kg 

應(yīng)用范圍:GSL-1400X-Ⅱ-60-100是一款雙溫區(qū)高溫管式爐,每個加熱區(qū)長度12",由30段智能溫度調(diào)采用硅碳棒作為加熱元件,最高工作溫度可達(dá)到1400℃??赏ㄟ^調(diào)節(jié)兩個溫區(qū)的控溫程序使?fàn)t管內(nèi)溫場形成一溫度梯度,此系列管式爐可以用CVD或PVD方法來生長納米材料和制作各種薄膜。

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產(chǎn)品簡介 / Introduction

性能指標(biāo)和基本配置

名稱

1400℃小型雙溫區(qū)開啟式管式爐GSL-1400X-Ⅱ-60-100

爐體結(jié)構(gòu)

● 雙層殼體結(jié)構(gòu),可使表面溫度低于70℃
● 采用高純氧化鋁纖維做為爐膛材料,并且表面涂有氧化鋁涂層(可提高加熱效率和延長使用壽命)

基本參數(shù)

● 熱偶:S型熱偶
● 建議升溫速率:1400℃以下≤10℃/min ;1400℃以上≤5℃/min
● 溫度:1300℃ (1400℃<30min)
● 電源:AC380,50Hz
● 最大功率:6KW

爐管尺寸

● 材料:高純剛玉管
● 直徑φ60
● 可選購法蘭支架

加熱區(qū)

加熱區(qū)長度:580mm (雙溫區(qū):290mm+290mm)

加熱元件

U型1500級硅碳棒

可選

● 1.法蘭上標(biāo)配安裝的是Φ8的寶塔嘴接頭
● 2.為了獲得較好的抽氣速率可以配用KF25的轉(zhuǎn)接頭
● 3.為了較好地向爐管中通入氣體可以配用1/4"的不銹鋼卡套接頭
可選:您可以選購kf25真空口法蘭
可選:您可以訂購法蘭支架

溫控系統(tǒng)

● 包含一款YD518P型溫度控制器
● PID自動控溫系統(tǒng)
● 智能化30段可編程控制
● 控溫精度:±1℃
● 兩個溫區(qū)分別有兩個獨立的溫控系統(tǒng)控制
● 默認(rèn)DB9 PC通信連接端口
● 可選購電腦溫度控制軟件(用于YD518P系列控制器)用于控制升溫曲線和導(dǎo)出數(shù)據(jù)

外形尺寸

● 1350 L x 470 W x 750 H mm

凈重

150Kg

質(zhì)保期

● 一年保修,終身技術(shù)支持。
● 特別提示:1.耗材部分如加熱元件,石英管,樣品坩堝等不包含在內(nèi)。
2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。

真空系統(tǒng)

● 通過機械泵可達(dá)到50mTorr
● 通過分子泵泵可達(dá)到10E-5 Torr
● 可選購一個冷真空阱,以避免真空泵造成污染

使用注意事項

● 爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa
● 不要在氧化鋁管中使用石墨坩堝
● 由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高,所以向爐管內(nèi)通入氣體時,氣瓶上必須安裝減壓閥,建議在本公司選購減壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全
● 當(dāng)爐體溫度高于1500℃時,爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài),爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng),保持在常壓狀態(tài)
● 進入爐管的氣體流量需小于200SCCM,以避免冷的大氣流對加熱剛玉管的沖擊剛玉管的長時間使用溫度<1750℃
● 對于樣品加熱的實驗,不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱,則需時刻關(guān)注壓力表的示數(shù),若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥,以防意外發(fā)生(如爐 管破裂,法蘭飛出等)


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