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  • 1700℃三溫區(qū)管式爐

1700℃三溫區(qū)管式爐

產(chǎn)品型號:GSL-1700X-Ⅲ-60-120 

安裝尺寸:1600 L x 500W x 700 H mm 

重量:約150Kg 

應用范圍:GSL-1700X-Ⅲ-60-120是一款三溫區(qū)高溫管式爐,其爐管外徑為 60mm ,每個加熱區(qū)的長度為12" ,三個數(shù)字溫度控制器可獨立控制溫度,并可設置30段升降溫程序,溫區(qū)1(加熱區(qū)中心)采用Super-1800級的硅鉬棒進行加熱,當溫度達到 1700°C時,另外兩個溫區(qū)用硅碳棒進行加熱,當溫度在1400°C時,此款管式爐可以形成一個溫度梯度,調整三個溫區(qū)的溫度,在熱梯度下制備功能材料,他是一款理想的設備,同時也適用于CVD法制作薄膜外延生長。

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產(chǎn)品簡介 / Introduction

性能指標和基本配置

名稱

1700℃三溫區(qū)管式爐

爐體結構

● 采用雙層殼體結構,并帶有風冷系統(tǒng),使表面溫度低于70℃
● 內爐膛表面涂有高溫氧化鋁涂層可以提高設備的加熱效率,同時也可以延長儀器的使用壽命

基本參數(shù)

● 熱偶:B型(溫區(qū)2)和S型(溫區(qū)1、3)熱偶
● 電源:三相AC380V,50Hz 最大10KW
● 工作溫度:
溫區(qū)1:長期1300℃(1400℃<1h)    建議升溫速率:≤5℃/ min
溫區(qū)2:長期1600℃(1700℃<1h)    建議升溫速率:5℃/ min ( T< 1600℃); 2℃/ min ( T>1600℃)
溫區(qū)3:長期1300℃(1400℃<1h)    建議升溫速率:≤5℃/ min
● 加熱區(qū):加熱區(qū)長度:630mm (三溫區(qū):190mm+250mm+190mm)

爐管尺寸

材料:剛玉管
Φ60×1200mm L

法蘭

● 法蘭上標配安裝的是Φ8的寶塔嘴接頭
● 為了獲得較好的抽氣速率可以配用KF25的轉接頭
● 為了較好地向爐管中通入氣體可以配用1/4"的不銹鋼卡套接頭
提示:法蘭配置多種可選具體請和銷售溝通。

加熱元件

● 溫區(qū)1:4個U型SiC加熱棒(30x300mm)
● 溫區(qū)2:6個U型MoSi2加熱棒(30x300mm)
● 溫區(qū)3:4個U型SiC加熱棒(30x300mm)

密封法蘭

● 一對SS 304真空法蘭與雙高溫硅O形環(huán)包括在內
● 兩個針閥已分別安裝在兩個法蘭上
● 一個真空壓力表安裝在一側法蘭
● 可選:您可以選購kf25真空口法蘭
● 可選:您可以訂購法蘭支架

溫控系統(tǒng)

● 包含一款YD518P型溫度控制器
● PID自動控溫系統(tǒng)
● 智能化30段可編程控制
● 控溫精度:±1℃
● 三個溫區(qū)分別有三個獨立的溫控系統(tǒng)控制
● 默認DB9 PC通信連接端口
● 可選購電腦溫度控制軟件(用于YD518P系列控制器)用于控制升溫曲線和導出數(shù)據(jù)

溫度校準(可選)

● 定期對管式爐進行溫度校準,可保持溫度的準確性和均勻性。您可以在我公司選購一個簡單的校準工具包,輔助您完成這項工作,完整的校準套件包括
● 48”L(1/4”O(jiān)D)K型熱電偶校準
● 一Omega溫度校準器
● 熱電偶補償線
● 你可以考慮分子泵,真空度可達10-5Torr

外形尺寸

1600 L x 500W x 700 H mm

凈重

150Kg

質保期

● 一年保修,終身技術支持。
● 特別提示:1.耗材部分如加熱元件,石英管,樣品坩堝等不包含在內。
        2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內。

真空系統(tǒng)

● 通過機械泵可達到50mTorr
● 通過分子泵泵可達到10E-5 Torr
● 可選購一個冷真空阱,以避免真空泵造成污染

使用注意事項

● 爐管內氣壓不可高于0.02MPa
● 由于氣瓶內部氣壓較高,所以向爐管內通入氣體時,氣瓶上必須安裝減壓閥,為了確保安全,建議使用壓力低于0.02MPa,建議在本公司選購減壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全
● 當爐體溫度高于1000℃時,爐管內不可處于真空狀態(tài),爐管內的氣壓需和大氣壓相當
● 進入爐管的氣體流量需小于200SCCM,以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊
● 石英管的長時間使用溫度<1100℃
● 對于樣品加熱的實驗,不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱,則需時刻關注壓力表的示數(shù),若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥,以防意外發(fā)生(如爐 管破裂,法蘭飛出等)


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